형광X선의 발생 

- 시료에 X-ray tube에서 발생된 X선을 조사하면 시료에 함유된

원자에서 고유의 형광X선이 발생되고 시료 밖으로 방출하고

이 X선을 형광X선이라고 하며 각 원소 고유의 파장(에너지)을

가지고 있으며 이 X선의 파장을 확인함으로서 정성분석

- 형광X선의 강도는 농도와 비례하여 원소 특유의

파장별로 형광X선의 양을 측정하면 정량분석

고속·고감도·고정도

고분해능 SDD 검출기를 탑재하고 높은 계수율 실현

⊙ 처리량 최대 30배 빠른속도

고속 회로 탑재하여 기존 모델 대비 30배의 계수율 실현

및 알고리즘 개량과 기본 성능 향상으로 측정 시간단축

⊙ 검출하한 최대 6배 향상 고감도

금속 분석에 있어 주성분 안의

미량 원소의 검출하한 향상

⊙ 고분해능

Si(Li) 반도체 검출기를 탑재한 기존 모델과 비교해서

에너지 분해능이 우수하고 다른 원소에 의한 피크

중첩의 영향이 줄고 분석 결고의 신뢰성 향상

⊙ 액체질소 불필요

SSD 검출기는 전자냉각 방식으로 액체질소를 이용한

냉각이 필요 없고 번거로운 액체질소 충전 작업에서

해방되며 장비 운용 비용도 절감 가능

⊙ 검출원소범위

4종류의 콜리메이터 & 샘플 관찰카메라

- 샘플 크기에 맞게 4 종류(Φ 1, 3, 5, 10mm)의 콜리메이터를 자동 전환

- 작은 이물 시료나 불량 해석에는 Φ1mm, 샘플 양이 적은 경우에는

Φ3mm나 Φ5mm와 같이 샘플 형상에 맞춰서 최적의 콜리메이터 선택가능

- 시료 관찰 카메라를 통해 X선 조사위치 확인가능

- 작은 시료를 측정하거나 여러 개의 부위로 이루어진 시료의 특정

부위에만 X선을 조사하고 싶을 때 미량 시료용 전용 용기 사용 경우 유용

5종류의 1차 필터 자동 교환

1차 필터는 X-ray tube에서 발생된 특성 X선이나 연속 X선을 감쇄시켜

검출 감도를 향상시키고 미량 함유된 원소를 분석할 때 유용하며

5종류의 1차 필터가 내장되어 있고 소프트웨어를 자동 필터 변경 가능

자유자재의 콜리메이터와 1차 필터 조합

-콜리메이터와 1차 필터는 각각 독립되어 구동되기 때문에

조합의 제약이 없고 24종류의 조건에서 최적의 조합 선택 가능

-모든 조합의 조건에서 FP법을 통한 정량분석 가능

진공 측정 유닛

경원소에서 발생된 형광X선은 대기 분위기에서 흡수되기

쉬워 진공분호위기에서 측정함으로 경원소 고감도 분석 가능

He치환 유닛

- 액체나 가스를 발생시키는 등 진공 분위기를 만들 수

없는 시료에 함유된 경원소를 분석할 때 He 치환 유용

- 높은 효율로 He 가스를 치환하는 독자 시스템을

채용해 감도를 악화시킬 일 없이 퍼지 시간과

He 가스소비량 기존 모델 대비 40% 감소

12 샘플 Turret

-Turret 추가하여 자동으로 연속 분석 가능

-진공/He 분위기 측정을 하는 경우 처리량 향상

검량선법

-표준시료를 측정하고 함유량과 형광X선 강도와의 관계를 검량선으로하여 미지시료를 정량

-미지시료의 재질과 비슷한 표준시료 선정과 원소 마다의 검량선이 필요하지만 정확도

높은 분석이 가능하고 흡수여기 보정 및 중첩보정 등 각 종 공존원소 보정에도 대응

FP법

- 이론강도 계산으로 측정 강도로부터 조성을 구하는 방법

- 표준시료 제작이 곤란한 미지시료의 정량분석에 위력을 발휘

- 금속, 산화물, 수지 등의 분석에 대응하는 Bulk FP법도 있고

도금, 박막두께 · 조성분석에 대응하는 박막 FP법도 표준으로 탑재

- 자동 밸런스 설정기능 탑재로 주성분이 C, H, O 등의 유기물인 경우 FP법에서는

밸런스(나머지) 설정이 필요하지만 프로파일 형상으로부터 밸런스

설정이 필요하다고 판단된 경우, 소프트웨어에서 자동으로 밸런스 설정

백그라운드 FP법

-형광X선 피크(순수 피크) 강도만 계산하는 기존 FP법에

산란 X선(백그라운드) 강도 계산을 추가한것으로 소량

유기물 시료의 정량 정확도 향상 및 형상이 불규칙한

시료의 도금두께 측정, 유기 필름의 막 두께 측정에 유용

매칭기능

-어떤 시료의 분석결과와 기존 데이터의 라이브러리를

비교해서 일치도가 높은 순으로 표시하는 기능

-라이브러리에는 함유량 데이터와 강도 데이터 두

종류가 있고 각각 유저가 등록하는 것도 가능

-함유량 데이터는 값을 직접 입력 가능

컴팩트한 크기

- 이전 기기 대비 크기 20% 감소

- 최대 300(W) x 275(D) x 100(H) mm의 대형 시료 세팅 가능

LED 표시등

- X-ray가 발생하면 기기 후면의 X-ray 표시등과 전면의

X-RAYS ON 램프가 켜지고 분석 중에는 X-ray 표시등의

양 옆에 파란 램프가 들어와 멀리서도 장비 상태 체크 가능

PCEDX Navi

간단분석 소프트웨어로 직관적으로 조작 가능하게 심플하고

세련된 화면으로 사용하는 모두에게 쾌적한 조작환경 제공

자동 X-ray tube 에이징

X-ray 튜브를 장기간 미사용 시 다시 사용할 때 에이징 작업이

필요한데 소프트웨어는 미사용 기간에 따라 자동 에이징 실시

조건 보호 기능

소프트웨어에 패스워드 설정 가능하며 조건의 설정 및

변경은 패스워드를 입력한 사람만 할 수 있는 기능

보고서 생성 기능

- HTML 형식 또는 Excel 형식의

분석 데이터 보고서 작성

- 측정시 자동으로 저장된 시료 이미지

보고서 첨부되어 측정 위치 확인 용이

리스트 작성 기능

- 여러 시료의 분석 결과 Excel 형식 리스트 파일로 제작 가능

- 리스트에서 데이터 지정 후 데이터 상세 확인 및 편집 가능

- RoHS 등 특정 유해원소 리스트나 유저가 임의의

원소를 설정할 수 있는 리스트 등 각종 템플릿 준비