목록 SEM Veritas-LaB6 (Big Chamber SEM) Description · 고해상도 및 긴 필라멘트 수명 · 최고의 생산성을 위한 대형 챔버 · 반도체, 전자 산업을 위한 최고의 솔루션 제품 문의하기 카탈로그 보기 제품소개 규격표 주문정보표 본문 모델 Veritas-LaB6 Ⅰ.전자 해결 2.0nm(SE 이미지) 전자총 사전 중심화된 LaB6 필라멘트 가속 전압 200V ~ 30kV 배율 x10 ~ x300,000 탐지기 SE 검출기 (ET형) Ⅱ.단계 스테이지 시스템 5축 모터화 - X : 120mm / Y : 120mm / - Z : 5 ~ 65mm / - T : -20º ~ 90º / - R : 360º 작동 거리 5 ~ 65mm 최대 샘플 크기 210mm(깊이) x 65mm(높이)Ⅲ.이미지PC작전 Windows 11 기반 올인원 24인치 워크스테이션 디스플레이 모드 초점 모드 : 320 x 240 픽셀, 크기 조절 가능 미리보기 모드 : 800 x 600 슬로우 모드 : 미리보기 및 초점 모드 모두 적용 가능 사진 모드 : 최대 3200 x 2400 체재 BMP, JPEG, PNG, TIFF 빔 시프트 100μm 자동 기능 자동 밝기 및 대비 / 자동 초점 / 자동 건 정렬 / 자동 채도 / 자동 필라멘트 / 바이어스 Ⅳ.진공샘플 로딩 시간 진공 : 4분, 배출 : 40초 진공 모드 고진공만(<9x10-3) 진공 시스템 전자동 배기 시스템 - 터보 분자 펌프(3분 이내 진공 준비 완료) - 로터리 베인 펌프 - 전기 밸브 시스템Ⅴ.치수 및 전력전자 현미경 800(폭) x 825(길이) x 1500(높이)mm / 230kg 전원 공급 장치 단상 : 100 ~ 240VAC, 50/60Hz / 1kVA Ⅵ.옵션 장치옵션 장치 EDS(Oxford, Bruker, EDAX, Thermo compatible) / EBSD / WDS / CL / 챔버 카메라 / LaB6 / CeB6 업그레이드 3D 이미징 / 라만 분광법 / 전자빔 리소그래피 이전글EDS 25.07.22 다음글Genesis-2020 (Normal SEM) 25.07.22