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Veritas-LaB6 (Big Chamber SEM)

Description
· 고해상도 및 긴 필라멘트 수명
· 최고의 생산성을 위한 대형 챔버
· 반도체, 전자 산업을 위한 최고의 솔루션

본문


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모델

Veritas-LaB6

Ⅰ.전자

해결 

 2.0nm(SE 이미지) 

전자총  

 사전 중심화된 LaB6 필라멘트 

가속 전압 

 200V ~ 30kV 

배율

 x10 ~ x300,000

탐지기 

 SE 검출기 (ET형) 

Ⅱ.단계 

스테이지 시스템 

 5축 모터화 - X : 120mm / Y : 120mm / - Z : 5 ~ 65mm / - T : -20º ~ 90º / - R : 360º 

작동 거리

 5 ~ 65mm 

최대 샘플 크기 

 210mm(깊이) x 65mm(높이)

Ⅲ.이미지

PC작전 

 Windows 11 기반 올인원 24인치 워크스테이션 

디스플레이 모드 

 초점 모드 : 320 x 240 픽셀, 크기 조절 가능

 미리보기 모드 : 800 x 600

 슬로우 모드 : 미리보기 및 초점 모드 모두 적용 가능

 사진 모드 : 최대 3200 x 2400 

체재

 BMP, JPEG, PNG, TIFF 

빔 시프트  

 100μm 

자동 기능 

 자동 밝기 및 대비 / 자동 초점 / 자동 건 정렬 / 자동 채도 / 자동 필라멘트 / 바이어스 

Ⅳ.진공

샘플 로딩 시간

 진공 : 4분, 배출 : 40초 

진공 모드  

 고진공만(<9x10-3) 

진공 시스템

 전자동 배기 시스템

 - 터보 분자 펌프(3분 이내 진공 준비 완료)

 - 로터리 베인 펌프

 - 전기 밸브 시스템

Ⅴ.치수 및 전력

전자 현미경  

 800(폭) x 825(길이) x 1500(높이)mm / 230kg 

전원 공급 장치  

 단상 : 100 ~ 240VAC, 50/60Hz / 1kVA 

Ⅵ.옵션 장치

옵션 장치 

 EDS(Oxford, Bruker, EDAX, Thermo compatible) / EBSD / WDS / CL / 챔버 카메라 / LaB6 / CeB6 업그레이드

 3D 이미징 / 라만 분광법 / 전자빔 리소그래피