모델

Genesis-2020 

Ⅰ.전자 

해결 

 3.0nm(SE 이미지) 

전자총 

 사전 중심 텅스텐 필라멘트 

가속 전압 

 200V ~ 30kV 

탐지기

 SE 검출기 (ET형)

스테이지 시스템 

 5축 모터화

 - X : 90mm / - Y : 60mm / - Z : 5 ~ 60mm / - T : -20º ~ 90º / - R : 360º 

최대 샘플 크기  

 150mm(깊이) x 60mm(높이) 

PC작전

 Windows 11 기반 올인원 24인치 워크스테이션

디스플레이 모드

 초점 모드 : 320 x 240 픽셀, 크기 조절 가능

 미리보기 모드 : 800 x 600

 슬로우 모드 : 미리보기 및 초점 모드 모두 적용 가능

 사진 모드 : 최대 3200 x 2400

체재 

 BMP, JPEG, PNG, TIFF 

빔 시프트 

 100μm 

자동 기능 

 자동 밝기 및 대비 / 자동 초점 / 자동 건 정렬 / 자동 채도 / 자동 필라멘트 / 바이어스 

Ⅳ.진공 

샘플 로딩 시간

 진공 : 3분, 배출 ; 30초 

진공 시스템

 전자동 배기 시스템

 - 터보 분자 펌프 (3분 이내 진공 준비완료)

 - 로터리 베인 펌프

 - 전기 밸브 시스템 

Ⅴ.치수 및 전력

전자 현미경 

 600(폭) x 623(깊이) x 1350(높이)mm / 180kg 

전원 공급 장치 

 단상 : 100 ~ 240VAC, 50/60Hz, 1kVA 

Ⅵ.옵션 장치

 EDS(Oxford, Bruker, EDAX, Thermo compatible) / EBSD / WDS / CL / 챔버 카메라

 LaB6/CeB6 업그레이드 / 3D 이미징 / 라만 분광법 / 전자빔 리소그래피