모델

Cube-Ⅱ

Ⅰ.전자

해결

 5nm (30kV에서의 SE 이미지) 

전자총

 사전 중심 텅스텐 필라멘트

가속 전압 

 1kV ~ 30kV 

배율 

 x10 ~ x200,000 

탐지기 

 SE 검출기 및 BSE 검출기 (4채널) 

Ⅱ.단계

내비게이션 모드

 샘플 홀더 맵  

스테이지 시스템

 5축 스테이지

 - X : 40mm (전동) / - Y : 40mm (전동) / - Z : 5 ~ 43mm (전동)

 - T : -90℃ ~ 90℃ (수동) / - R : 360℃ (빔 회전)

작동 거리

 5 ~ 43mm

최대 샘플 크기

 80mm(깊이) x 43mm(높이) 

Ⅲ.이미지 

PC작전

 Window 11 기반 올인원 24인치 워크스테이션

디스플레이 모드

 초점 모드 : 320 x 240 픽셀, 크기 조절 가능

 미리보기 모드 : 800 x 600 픽셀

 느린 모드 : 미리보기 및 초점 모드 모두에 적용

 사진 모드 : 최대 3200 x 2400 픽셀 

체재

 BMP, JPEG, PNG, TIFF 

빔 시프트 

 100μm 

자동 기능 

 자동 밝기 및 대비 / 자동 초점 / 자동 건 정렬 / 자동 채도 / 자동 필라멘트 / 바이어스 

Ⅳ.진공

샘플 로딩 시간

 진공 : 90초, 배출 : 10초 

진공 모드 

 고진공 모드 (<9x10-3)

 저진공 모드 (충전 감소)

진공 시스템

 완전 자동 배출 시스템

 - 터보 분자 펌프 (2분 이내 진공 준비 완료)

 - 로터리 베인 펌프

 - 전기 밸브

Ⅴ.치수 및 전력

전자 현미경

 410(폭) x 440(깊이) x 520(높이) mm / 65kg 

전원 공급 장치

 단상 : 100 ~ 240VAC, 50/60HZ, 1kVA

Ⅵ.옵션 장치

 EDS(SEM-EDS의 일체형 모델) / 자동 회전 / 자동 기울기 / 챔버 카메라 / 내비게이션

 *Oxford, Bruker, EDAX, Thermo 호환